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Aurion Anlagentechnik GmbH

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  • DIN EN ISO 9001:2015

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01.10.2025 10:40

Systèmes en grappe et en ligne

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Systèmes en grappe

AURION propose des systèmes multi-chambres avec manipulation de substrats sous vide adaptés à vos besoins. Les configurations disponibles comprennent des chambres de chargement, des chambres de transfert et des modules de traitement pour les processus de pulvérisation cathodique et de RIE.

 

Systèmes en ligne

AURION propose des systèmes en ligne (pass-by) avec transport de substrats sous vide adaptés à vos besoins. Les configurations disponibles comprennent des chambres de chargement, des chambres de prétraitement et des chambres de pulvérisation. Des configurations verticales et horizontales sont disponibles.


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Rubrique
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Allemagne