Avec le capteur IMP-NIR-TH3/90/IP68, Micro-Epsilon enrichit sa gamme interferoMETER d'un capteur particulièrement robuste pour la mesure d'épaisseur en ligne de wafers de silicium et de SiC. Le capteur dispose d'une trajectoire de faisceau de 90° ainsi que d'une petite distance de travail de seulement 3 mm et est ainsi idéal pour les applications où l'espace de montage est fortement limité.

Mesure stable dans le processus de meulage

C'est justement dans les processus exigeants comme le meulage en slurry que le capteur montre ses atouts : Le boîtier robuste en acier inoxydable IP68 permet une utilisation directement dans la machine, même en cas d'humidité élevée et de charge de particules. Un aspect propre est particulièrement important dans les processus de ponçage et de rodage. Le dispositif de soufflage intégré y veille, en maintenant durablement l'optique exempte de particules et en permettant ainsi des mesures stables.

guidage du faisceau à 90° pour les situations de montage étroites

Une caractéristique centrale du capteur est la trajectoire du faisceau à 90°, qui permet son intégration même dans des espaces de montage très limités. La distance de travail de seulement 3 mm et le très petit point lumineux de 15 µm de diamètre créent la base pour des mesures en ligne précises directement dans la machine. Le capteur IMP-NIR-TH3/90/IP68 fonctionne avec le contrôleur IMS5420 et fournit une solution compacte et sûre pour les processus de mesure des plaquettes fortement dopées, pour lesquelles une qualité de signal élevée est décisive.