Bronkhorst High-Tech BV

Débitmètres massiques pour gaz à étanchéité métallique

Les débitmètres massiques Bronkhorst® modèle F-111CM ont été spécialement conçus pour répondre aux exigences du marché des semi-conducteurs ainsi qu'à d'autres applications de gaz de haute pureté. Ces instruments présentent une grande qualité de surface et sont de construction modulaire avec des joints métal-métal qui assurent une étanchéité à long terme. Le F-111CM est adapté à la mesure précise de gammes de débit comprises entre 0,12...6 sccm et 1...50 slm (sur la base de N2) à des pressions de fonctionnement comprises entre le vide et 1500 psig (100 bar).

La série EL-FLOW® Metal Sealed est équipée d'une carte électronique numérique qui offre une grande précision, une excellente stabilité à la température et une réponse rapide. La carte numérique principale contient toutes les fonctions générales nécessaires à la mesure et au contrôle. En plus de la sortie RS232 standard, les instruments offrent également des E/S analogiques. En option, une interface embarquée peut être montée pour fournir les protocoles CANopen®, DeviceNet™, EtherCAT®, PROFIBUS DP, PROFINET, Modbus RTU, ASCII ou TCP/IP, EtherNet/IP ou FLOW-BUS. La conception EL-FLOW® Metal Sealed est dotée d'une fonctionnalité optionnelle multigaz / multigamme, offrant aux clients (OEM-) une flexibilité et une efficacité de processus optimales.