Aurion Anlagentechnik GmbH

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DIN EN ISO 9001:2015

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Systèmes de grappes à plasma de Aurion Anlagentechnik GmbH

AURION propose des installations à chambres multiples avec manipulation de substrats sous vide spécialement conçues pour répondre à vos besoins. Les configurations disponibles comprennent des chambres à sas, des chambres de transfert et des modules de processus pour les processus de pulvérisation et de RIE.