Stäubli Electrical Connectors AG

Nos solutions robotisées pour salles blanches allient précision, vitesse et propreté

La fabrication de composants électroniques et de semi-conducteurs exige un haut niveau d'automatisation en termes de précision et de vitesse, tout en réduisant la charge de particules. Les robots Stäubli pour salles blanches permettent de réaliser des solutions hautement efficaces. Nos robots peuvent manipuler des plaquettes de silicium, des FOUPs/cassettes ainsi que des masques photographiques et des panneaux avec une précision et une vitesse exceptionnelles et avec des mouvements à faible vibration dans toute la chaîne de valeur de la fabrication de semi-conducteurs.

Spécialement conçus pour l'industrie des semi-conducteurs

Les robots six axes Supercleanroom (SCR) spécialement développés sont conçus pour répondre aux exigences strictes des environnements de salle blanche. Ils répondent aux normes ISO 14644-1 classe 2/3 ou FED209E sous-classe 1. Les machines présentent un bras entièrement encapsulé en polyuréthane avec un revêtement spécial et se distinguent par une mobilité impressionnante dans les espaces les plus restreints. Les robots SCR de Stäubli offrent une plus grande flexibilité, une charge utile plus élevée et une plus grande portée que les autres robots utilisés pour la fabrication de wafers. Ils répondent ainsi à toutes les exigences pour la manipulation des wafers, des photomasques et des cassettes. Le faible encombrement des robots permet d'économiser un espace précieux dans les machines spéciales.