Demande de produit
Le plasma est utilisé pour gérer un grand nombre de tâches dans le traitement des surfaces, à savoir le revêtement, l'activation des polymères, la gravure des composants microélectroniques et le nettoyage. Pour le nettoyage des surfaces, différentes méthodes de génération de plasma sont actuellement utilisées : Les radiofréquences (40 kHz et 13,56 MHz) et les micro-ondes. Les mélanges gazeux typiques contiennent de l'oxygène, de l'argon et parfois de l'hydrogène et du carbotétrafluorure.