Aurion Anlagentechnik GmbH

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DIN EN ISO 9001:2015

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Installations de dégraissage plasma de Aurion Anlagentechnik GmbH

Le plasma est utilisé pour gérer un grand nombre de tâches dans le traitement des surfaces, à savoir le revêtement, l'activation des polymères, la gravure des composants microélectroniques et le nettoyage. Pour le nettoyage des surfaces, différentes méthodes de génération de plasma sont actuellement utilisées : Les radiofréquences (40 kHz et 13,56 MHz) et les micro-ondes. Les mélanges gazeux typiques contiennent de l'oxygène, de l'argon et parfois de l'hydrogène et du carbotétrafluorure.