interferoMETER : Des capteurs performants pour des exigences particulières

Avec la série interferoMETER , Micro-Epsilon propose des interféromètres à lumière blanche innovants pour la mesure industrielle de distances et d'épaisseurs avec une précision maximale. Contrairement aux interféromètres laser, il est ainsi possible de réaliser des mesures de distance absolues, même en cas de sauts de signaux. On obtient ainsi des résolutions allant jusqu'au picomètre. Trois nouveaux capteurs sont disponibles pour des mesures performantes dans des environnements particuliers.

interferoMETER IMP-DS0,5/90/VAC
Capteur de distance à 90° pour petits espaces Plage de mesure 1,5 mm Linéarité ±10 nm (en fonction du contrôleur) Sortie radiale du faisceau Exécutionexécution pour applications sous vide jusqu'à UHV

interferoMETER IMP-DS19/VAC(001)
Capteur avec une stabilité thermique maximale Plage de mesure 2,1 mm Linéarité ±10 nm (en fonction du contrôleur) Matériau du capteur en Invar Version pour applications sous vide jusqu'à UHV

interferoMETER IMP-DS1/VAC
Capteur de distance miniaturisé ø4mm Plage de mesure 1,1 mm Linéarité ±10 nm (en fonction du contrôleur) Câble intégré pour une installation facile Version pour les applications sous vide jusqu'à UHV