Trois nouveaux capteurs de la série interferoMETER IMP-DS sont conçus pour des mesures de distance de haute précision dans des environnements particuliers. Ces capteurs ainsi que leurs câbles sont hautement exempts de particules et peuvent être utilisés aussi bien en salle blanche que sous vide. Ils fournissent des résultats de l'ordre du subnanomètre et sont disponibles en différentes versions : pour les mesures à 90° dans les alésages et les petits espaces de montage, pour l'utilisation dans l'ultravide avec une grande stabilité thermique ainsi que comme capteur de distance miniaturisé de seulement 4 mm de diamètre.

Avec la série interferoMETER, Micro-Epsilon propose des interféromètres à lumière blanche innovants pour la mesure industrielle de distances et d'épaisseurs avec une précision maximale. Contrairement aux interféromètres laser, il est ainsi possible de réaliser des mesures de distance absolues, même en cas de sauts de signaux. On obtient ainsi des résolutions allant jusqu'au picomètre.

Pour l'intégration des interféromètres dans des environnements exigeants, de nouveaux capteurs sont disponibles avec différents types de construction et de propriétés. L'IMP-DS0.5/90/VAC peut être monté dans des espaces peu profonds grâce à son trajet optique de 90°. Le nouveau capteur miniature IMP-DS1/VAC compte parmi les plus petits capteurs optiques de Micro-Epsilon. Avec un diamètre de 4 mm et un câble intégré, le capteur peut également être utilisé dans des espaces de montage extrêmement réduits. Les capteurs et le câble peuvent être utilisés aussi bien en salle blanche que sous vide.