Détection précise de l'encoche sur la tranche de verre

La fabrication de puces semi-conductrices de haute qualité nécessite des techniques d'alignement et de positionnement précises lors de la production des tranches de verre. La détection des encoches, qui consiste à détecter avec précision la position des encoches sur la tranche de silicium, est une étape décisive dans ce processus. Ces encoches servent de points de référence pour les étapes de traitement et de manipulation suivantes.

Les capteurs à fibres optiques optoCONTROL CLS1000 sont utilisés pour la détection précise des encoches. Ces capteurs ultramodernes détectent la position exacte des encoches sur la plaque de verre et permettent ainsi un alignement extrêmement fiable. Les capteurs CLS1000 convainquent par leur haute résolution et leur précision lors de la mesure des positions et des distances. Ils se distinguent en outre par leur construction compacte, leur facilité d'intégration et leur grande fiabilité. Grâce à leurs performances, ils constituent un soutien essentiel pour la fabrication de puces semi-conductrices sur des tranches de verre.

Avantages en un coup d'œil

Haute résolution et précision pour une détection précise de la position
Temps de réaction rapide jusqu'à 10 kHz et temps de réponse de 100µs
Intégration facile, même dans des systèmes existants
Têtes de capteur adaptées au vide

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