MICRO-EPSILON Messtechnik GmbH & Co. KG
22.09.2023 01:09
L'interféromètre à lumière blanche IMS5420-TH ouvre de nouvelles perspectives dans la mesure industrielle de l'épaisseur des plaquettes de silicium monocristallin. Grâce à la diode superluminescente (SLED) à large bande, l'IMS5420-TH peut être utilisé aussi bien pour les plaquettes SI non dopées et dopées que pour les plaquettes SI fortement dopées. La plage de mesure de l'épaisseur s'étend de 0,05 à 1,05 mm. L'épaisseur mesurable des entrefers peut même atteindre 4 mm.
La production de plaquettes de semi-conducteurs requiert une précision maximale. Une étape importante du processus est le rodage des ébauches, qui sont alors amenées à une épaisseur uniforme. Pour contrôler l'épaisseur en continu, les interféromètres à lumière blanche de la série interferoMETER IMS5420 ont été développés.La nouvelle plage de mesure de 30 mm vient compléter la série de modèles des systèmes d'inspectio...
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