Un nouvel interféromètre pour mesurer l'épaisseur des wafers avec une grande précision

L'interféromètre à lumière blanche IMS5420-TH ouvre de nouvelles perspectives dans la mesure industrielle de l'épaisseur des plaquettes de silicium monocristallin. Grâce à la diode superluminescente (SLED) à large bande, l'IMS5420-TH peut être utilisé aussi bien pour les plaquettes SI non dopées et dopées que pour les plaquettes SI fortement dopées. La plage de mesure de l'épaisseur s'étend de 0,05 à 1,05 mm. L'épaisseur mesurable des entrefers peut même atteindre 4 mm.

La production de plaquettes de semi-conducteurs requiert une précision maximale. Une étape importante du processus est le rodage des ébauches, qui sont alors amenées à une épaisseur uniforme. Pour contrôler l'épaisseur en continu, les interféromètres à lumière blanche de la série interferoMETER IMS5420 ont été développés.

Ils se composent chacun d'un capteur compact et d'un contrôleur logé dans un boîtier robuste adapté à l'industrie. Une régulation active de la température intégrée au contrôleur assure une grande stabilité de la mesure.

L'interféromètre est disponible soit comme système de mesure d'épaisseur, soit comme système de mesure d'épaisseur multi-pics. Le système de mesure d'épaisseur multi-pics peut mesurer l'épaisseur de jusqu'à cinq couches, par exemple l'épaisseur de la tranche, l'entrefer, le film et les revêtements >50 µm. Pour les mesures d'épaisseur dans des conditions environnementales difficiles, le contrôleur IMS5420IP67 est disponible avec IP67 et un boîtier en acier inoxydable ainsi que des fibres optiques et des capteurs adaptés.

Les avantages en un coup d'œil

Mesure d'épaisseur au nanomètre près de wafers non dopés, dopés et fortement dopés
Multi-peak : détection de jusqu'à 5 couches avec une épaisseur SI de 0,05 à 1,05 mm
Haute résolution sur l'axe z de 1 nm
Fréquence de mesure jusqu'à 6 kHz pour des mesures rapides
Ethernet / EtherCAT / RS422 / PROFINET / EtherNet/IP
Paramétrage simple via l'interface web