Interféromètre absolu : Nouveaux capteurs de vide avec trajectoire de faisceau à 90

Les interféromètres absolus interferoMETER 5400-DS et 5600-DS sont utilisés pour mesurer des distances avec une précision nanométrique. Le groupe de produits s'est maintenant enrichi de nouveaux capteurs avec une grande distance de base de 10 mm. Ceux-ci sont conçus pour des applications de haute précision dans des environnements de salle blanche et sous vide, par exemple pour des mesures sur des tranches de silicium revêtues. Une variante non magnétique en titane UHV permet en outre une utilisation dans des champs magnétiques puissants, tels qu'on les trouve entre autres dans la technique médicale en spin nucléaire ou au microscope à faisceau électronique.

La construction avec un trajet de faisceau de 90° réduit énormément la profondeur d'encombrement nécessaire. Selon le choix du contrôleur, des linéarités de < ±50 nm ou < ±10 nm sont possibles. Pour une intégration optimale dans différents systèmes de commande et programmes de production, les interféromètres absolus innovants disposent de nombreuses possibilités de connexion. Elles comprennent aussi bien des interfaces numériques comme Ethernet, EtherCAT, RS422, PROFINET et EtherNet/IP qu'une sortie analogique. Toute la configuration du contrôleur et de ses capteurs s'effectue comme d'habitude via l'interface web, sans logiciel supplémentaire.

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