Le concept KIVOS

KIVOS est un concept modulaire très flexible pour les systèmes plasma. Ces systèmes peuvent être utilisés dans les domaines d'application les plus divers, comme par exemple le nettoyage fin et l'activation de surfaces, la gravure ionique réactive (RIE) et le revêtement (PECVD, PVD). Ce concept permet à AURION de fabriquer des produits sophistiqués à des prix avantageux. Nos clients profitent de cet avantage en termes de prix. Un autre avantage est qu'un seul système peut être utilisé pour des applications très différentes.

L'idée de base de ce concept est de rendre facilement interchangeables le plus grand nombre possible de composants d'une installation. Cela signifie qu'ils sont interchangeables entre eux, mais aussi qu'ils peuvent être remplacés par de nouveaux composants, par exemple pour une nouvelle application.

Comme le montre le schéma ci-dessous, l'élément de base de la chambre de traitement est un cadre en acier inoxydable de forme cubique. Six plaques métalliques (modules), qui remplissent différentes fonctions, sont fixées à ce cadre. Les modules sont en acier inoxydable ou en aluminium, selon l'application.

En raison des dimensions identiques de tous les modules (forme cubique ! !!), il est possible de les interchanger entre eux ou avec d'autres composants sans grand effort. Ainsi, il n'est pas nécessaire d'acheter une chambre de traitement entièrement neuve pour une application légèrement modifiée, qui ne nécessite peut-être que deux nouvelles brides ou une autre porte de chambre. Dans certains cas, il suffit même d'échanger deux ou trois modules entre eux.