Les tâches de mesure dans le vide posent les exigences les plus élevées à la technologie des capteurs utilisés. C'est précisément là que la technologie de mesure précise de Micro-Epsilon prend tout son sens : fiables, sans contact et stables, les capteurs fournissent des données exactes dans de nombreuses classes de vide. En fonction des exigences, les capteurs peuvent être configurés pour des applications spécifiques et adaptés de manière optimale aux conditions respectives.

Dans l'industrie des semi-conducteurs, l'optique ou l'aviation, les mesures sous vide font partie du quotidien, tout en posant les exigences les plus élevées à la technologie des capteurs. Micro-Epsilon propose à la fois des capteurs de catalogue et des capteurs spécialement développés qui fonctionnent de manière fiable et avec une grande précision dans des conditions extrêmes. Grâce à leurs matériaux adaptés et à leur conception optimisée, ils fonctionnent directement dans le vide ou mesurent depuis l'extérieur à travers des fenêtres de vide.

Selon l'application, des capteurs optiques, inductifs, capacitifs ou interférométriques sont utilisés. Les capteurs laser de la série optoNCDT sont idéaux pour mesurer la distance dans des processus tels que le soudage au laser ou la fabrication additive. Les capteurs confocaux de la série confocalDT sont le premier choix pour les mesures d'épaisseur avec une précision de l'ordre du nanomètre sur les plaquettes ou les écrans. Les interféromètres absolus fournissent des mesures de distance et d'épaisseur de haute précision dans la production de semi-conducteurs, entre autres applications. Les capteurs inductifs basés sur les courants de Foucault de la série induSENSOR, les capteurs capacitifs capaNCDT et les capteurs magnéto-inductifs mainSENSOR offrent des solutions supplémentaires pour les applications exigeantes dans le domaine du vide, par exemple dans l'industrie aéronautique.

Tous les capteurs sont fabriqués selon les spécifications les plus strictes et font l'objet de contrôles réguliers (par exemple, échantillonnage TENAX). Grâce à leur conception compacte, aux contrôleurs intégrés et aux interfaces intelligentes, ils peuvent être installés rapidement et intégrés de manière flexible dans des systèmes existants. Micro-Epsilon propose la technologie de mesure adaptée à chaque application de vide : personnalisée et prête à l'emploi. Vous trouverez de plus amples informations et des conseils dans notre brochure industrielle actuelle.