Solution d'application : Impression d'écrans OLED

Dans le processus d'impression d'écrans OLED, le gaz est utilisé comme matériau de support pour vaporiser des molécules organiques sous forme de structures rouges, vertes et bleues sur un substrat via une tête d'impression. Les mesures de distance et de fente doivent notamment être effectuées avec précision. L'interferoMETER IMS5400MP-DS permet d'effectuer ces mesures.

Pour des raisons de qualité, la distance au substrat doit toujours rester exactement la même. Comme le substrat repose sur une table à air et peut donc varier, sa distance à la table est déterminée par plusieurs interféromètres. L'option multi-peak permet de contrôler simultanément l'espace entre le substrat et la couche de silicium qui s'y trouve. Le capteur IMP DS1/VAC, extrêmement petit et compatible avec le vide, est monté directement dans la table à air et mesure par le bas sur ou à travers le verre d'environ 0,5 mm d'épaisseur. Les valeurs mesurées sont directement transmises via EtherCAT à la commande de la machine, où elles sont utilisées pour réguler l'air comprimé.

Les avantages en un coup d'œil

Précision maximale en termes de résolution et de linéarité
Fonction multi-peak pour la mesure simultanée de la distance et de la fente
Capteurs minuscules de seulement 4 mm de diamètre

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